檢索結果：共12筆資料 檢索策略： "grating".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="謝宏麟"
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本研究提出一套以準共光程光路架構為設計概念的新式雷射干涉儀，用以進行六自由度位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差、光柵剪切、麥克森干涉術等技術，具備高解析度、高穩定度及六自由度(6-DOF)之量…
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本論文提出一套創新的波長調制外差光柵干涉儀，用以進行六自由度位移及角位移量測。此套干涉儀系統具備外差干涉術、麥克森干涉術，以及光柵干涉術的優點。 我們藉由調整雷射二極體的輸入電流來調製其輸出波長，…
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近年來，精密機械業對於能提供高精度的量測設備需求正逐年攀升，透過具備優異量測性能的量測設備對工具機台進行位移、旋轉角和幾何誤差量測與校正，以維持高製造精度。然而，大多數的量測設備無法同時提供多自由度…
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術，其系統架構簡單，架設與校正容易，可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心，輔以外差調制技術及自行設計…
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本研究提出一套共面偵測分束器式光柵干涉儀，此套干涉儀採用「雙繞射式」的光路設計進行系統開發，透過光柵與反射鏡的搭配使通過光柵後的繞射光束再次穿過光柵形成二次繞射，用以引進加倍的的相位變化量，可有效提…
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本研究提出一套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」，用以進行四自由度精密位移及旋轉角度量測。此套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」採獨特的自混分頻多工概念進行設計，僅需一組電光調制器及半穿半反射鏡即可形成…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺，用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發，使系統具…
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本研究提出一套創新的多自由度再繞射式光柵干涉儀，用以同時量測五維度位移及旋轉角度變化量。此套系統是以光柵為技術核心進行開發，同時整合外差干涉術、光柵干涉術、再繞射光路及共面偵測技術等設計之優勢，使系…